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场发射扫描电镜 LE(Phenom Pharos)

  • 产品简介: 秉承飞纳台式电镜系列全自动操作、快速成像、不喷金观看绝缘体、完全防震、性能稳定的特点,经过精心的设计,台式扫描电镜领军制造商荷兰 Phenom-World 公司推出了台式场发射扫描电镜 Phenom LE,将台式电镜的分辨率提升至优于 2.5nm。

     

    Phenom LE 飞纳台式场发射电镜采用热场发射电子源,信噪比高,使用寿命长,保证长期稳定的性能。飞纳台式场发射扫描电镜能谱一体机标配背散射电子成像、二次电子电子成像和能谱分析功能,可对各种样品进行高分辨成像及元素分析。

     

    组成:

                                                                    安装环境要求:

    · 真空系统:高流速分子泵

                                                                      · 湿度要求:20%-80%

    · 电子枪:肖特基场发射电子枪

                                                                      · 温度要求:15-30 ℃

    · 电磁透镜

                                                                      · 场地要求:对震动和磁场无特殊要求

     


      规格参数

     


     

    Phenom Pro

    Phenom ProX

    Phenom LE

    光学放大 20 - 135 X 20 - 135 X 20 - 135 X
    电子光学放大 80 - 150,000 X 80 - 150,000 X 200 - 500,000 X
    分辨率 优于 8 nm 优于 8 nm 优于 2.5 nm
    数字放大 Max. 12 X Max. 12 X Max. 12 X
    光学导航相机 彩色 彩色 彩色
    加速电压 5 kV - 15 kV  连续可调 5 kV - 15 kV  连续可调 5 kV - 15 kV  连续可调
    真空模式
    • 高分辨率模式
    • 降低荷电效应模式
    • 高分辨率模式
    • 降低荷电效应模式
    • 高分辨率模式
    • 降低荷电效应模式
    探测器
    • 背散射电子探测器
    • 二次电子探测器 (选配)
    • 背散射电子探测器
    • 二次电子探测器 (选配)
    • 背散射电子探测器
    • 二次电子探测器 

    能谱探测器

     

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