Nano-FTIR 应用案例8-基于同步辐射光源的研究

更新时间：2019/4/10点击次数：1407次

基于同步辐射光源的纳米傅里叶变换红外光谱分析半导体材料

在近年的近场光学研究中使用的不同光源包括较窄波长范围的连续可调的气体激光光源，热激发光源，量子级联激光与同步辐射光源。然而，结合同步辐射光源与近场光学的光谱分析技术需要更多的实验研究。

相比一般普通热激发光源，同步辐射光源可以提供覆盖近红外到远红外波段的连续宽频光谱，而且同步辐射光源具有非常好的光学偏振性与亮度。

P.Hermann 等人将 Neaspec 公司的纳米傅里叶红外光谱系统 ( Nano-FTIR) 与同步辐射光源相结合，对常见的半导体器件与薄膜材料包括碳化硅、二氧化硅、二氧化钛与氮化硅进行了红外吸收光谱的研究。结果表明，使用同步辐射光源也能对半导体材料化学结构进行准确的分析，而且可以获得纳米尺度的超高分辨率。

该实验结果表明，使用超宽频率的同步辐射光源也可以进行近场光学的研究。而且同步辐射的近场光学实验结果也可以达到可与原子力显微镜相比较的超高分辨率。

参考文献：

P. Hermann;et. al. Characterization of semiconductor materials using synchrotron radiation-based near-field infrared microscopy and nano-FTIR spectroscopy. Optics Express 2014 , 22 , 17948-17958.

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